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NANOWIRE ARRAY, OPTOELECTRONIC DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR

机译:纳米线阵列,光电子器件和制造方法

摘要

Provided is a nanowire array. Nanowires in the nanowire array closely adhere to each other and are in contact with each other through a side wall to form a three-dimensional dence layered structure, wherein the nanowires are of an InGaN-based material. Provided is an optoelectronic device having the nanowire array. The nanowire array is epitaxially grown on a surface of a substrate (12). Further provided is a method for manufacturing the nanowire array and the optoelectronic device.
机译:提供是纳米线阵列。 纳米线阵列中的纳米线彼此紧密地粘附并且通过侧壁彼此接触以形成三维高度倾斜层状结构,其中纳米线具有基于ingAn的材料。 提供了一种具有纳米线阵列的光电子器件。 纳米线阵列在基板(12)的表面上外延生长。 进一步提供的是制造纳米线阵列和光电器件的方法。

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