机译:化学放大的阳性光敏树脂组合物,光敏干膜,制备光敏干膜的方法,制备图案化抗蚀剂膜的方法,制备模塑基材的方法,以及制造镀晶制品的方法
公开/公告号KR20210104843A
专利类型
公开/公告日2021-08-25
原文格式PDF
申请/专利权人 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤;
申请/专利号KR20217022628
发明设计人 가타야마 쇼타;에비사와 가즈아키;
申请日2019-12-25
分类号G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26;
国家 KR
入库时间 2022-08-24 22:19:01