机译:化学扩增的阳性光敏树脂组合物,光敏干膜,制备光敏干膜的方法,制备图案化抗蚀剂膜的方法,制备具有模板的基材的方法,以及制造镀层建模物体的方法
公开/公告号WO2021131538A1
专利类型
公开/公告日2021-07-01
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请/专利号WO2020JP44733
申请日2020-12-01
分类号C07C65/05;C07C309/42;C07C381/12;C07D493/08;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20;G03F7/40;
国家 JP
入库时间 2022-08-24 19:52:45