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INTEGRATED CIRCUIT METALLIC ION DIFFUSION DEFECT VALIDATION

机译:集成电路金属离子扩散缺陷验证

摘要

A method for validating that an integrated circuit die is not susceptible to a conductive metallic ion diffusion defect is disclosed. A test component is applied to a backside surface of the integrated circuit die to form a test assembly. The test component includes a conductive metal layer and a transport media layer for facilitating diffusion of conductive metallic ions. The test assembly is heated at a thermal activation temperature. The integrated circuit die is computer validated to determine whether or not the integrated circuit die has the conductive metallic ion diffusion defect.
机译:公开了一种用于验证集成电路管芯不易受导电金属离子扩散缺陷的方法。 测试部件应用于集成电路管芯的背面表面以形成测试组件。 测试部件包括导电金属层和用于促进导电金属离子的扩散的传输介质层。 测试组件在热激活温度下加热。 集成电路管芯是验证的计算机,以确定集成电路管芯是否具有导电金属离子扩散缺陷。

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