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STRUCTURE FOR INDIVIDUAL AUTHENTICATION, METHOD FOR PRODUCING THEREOF, AND INDIVIDUAL AUTHENTICATION METHOD

机译:用于个别认证的结构,产生方法和个别认证方法

摘要

Provided is a structure for individual authentication in which a pillar pattern region including a plurality of nanopillars formed of synthetic quartz glass is formed on at least a part of a surface portion of a synthetic quartz glass substrate. In the pillar pattern region, the nanopillars have an indentation elastic modulus of 35 to 100 GPa as measured by a nanoindentation method, and the nanopillars are plastically deformed.
机译:提供了一种用于个性认证的结构,其中在合成石英玻璃基板的表面部分的至少一部分上形成包括由合成石英玻璃形成的多个纳米粒子的柱状图案区域。 在柱状图案区域中,通过纳米凸缘方法测量,纳米粒子具有35至100GPa的缩进弹性模量,并且纳米粒子塑性变形。

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