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CONFINED CELL STRUCTURES AND METHODS OF FORMING CONFINED CELL STRUCTURES

机译:狭窄的细胞结构和形成狭窄的细胞结构的方法

摘要

Techniques for reducing damage in memory cells are provided. Memory cell structures are typically formed using dry etch and/or planarization processes which damage certain regions of the memory cell structure. In one or more embodiments, certain regions of the cell structure may be sensitive to damage. For example, the free magnetic region in magnetic memory cell structures may be susceptible to demagnetization. Such regions may be substantially confined by barrier materials during the formation of the memory cell structure, such that the edges of such regions are protected from damaging processes. Furthermore, in some embodiments, a memory cell structure is formed and confined within a recess in dielectric material.
机译:提供了用于降低存储器单元中损坏的技术。 存储器单元结构通常使用干蚀刻和/或平坦化过程来形成,该方法损坏存储器单元结构的某些区域。 在一个或多个实施例中,细胞结构的某些区域可以对损坏敏感。 例如,磁存储器单元结构中的自由磁区可以易于消磁。 在存储单元结构的形成期间,这种区域可以基本上被屏障材料限制,使得这些区域的边缘免受损坏过程的保护。 此外,在一些实施例中,在介电材料中形成并限制在介电材料的凹槽内的存储单元结构。

著录项

  • 公开/公告号US2021336129A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-10-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;

    申请/专利号US202117362322

  • 发明设计人 JUN LIU;GURTEJ SANDHU;

    申请日2021-06-29

  • 分类号H01L43/08;H01L43/12;G11C11/16;H01L43/02;H01L43/10;

  • 国家 US

  • 入库时间 2024-06-14 22:17:37

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