公开/公告号US11156548B2
专利类型
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201815938270
发明设计人 MANH NGUYEN;PHILLIP ATKINS;ALEXANDER KUZNETSOV;LIEQUAN LEE;NATALIA MALKOVA;PAUL AOYAGI;MIKHAIL SUSHCHIK;DAWEI HU;HOUSSAM CHOUAIB;
申请日2018-03-28
分类号G01N21/21;G01B11/06;G03F7/20;G05B13/02;
国家 US
入库时间 2022-08-24 21:53:20