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LAYERED STRUCTURE WITH REGIONS OF LOCALIZED STRAIN IN CRYSTALLINE RARE EARTH OXIDES

机译:具有晶体稀土氧化物中局部应变区域的分层结构

摘要

A layered structure (100) for transmission of an acoustic wave, the layered structure (100) comprising: a substrate layer (102); and a second layer (104) over the substrate layer (102), wherein the second layer (104) comprises a plurality of discrete portions (105) adjacent to each other, each discrete portion (105) of the plurality of discrete portions (105) comprising a first subregion (104A) and a second subregion (104B). Also an epitaxial layer (108), grown over the second layer (104), for transmission of the acoustic wave in a major plane of the epitaxial layer (108), wherein a periodicity (λ) of a wavelength of the acoustic wave to be transmitted through the epitaxial layer (108) is approximately equal to a sum of a width (dA) of the first subregion (104A) and a width (dB) of the second subregion (104B).
机译:分层结构(100),用于传输声波,层状结构(100)包括:基板层(102); 和在基板层(102)上的第二层(104),其中,第二层(104)包括彼此相邻的多个离散部分(105),多个离散部分的每个离散部分(105)(105) )包括第一子区域(104a)和第二子区域(104b)。 还在第二层(104)上生长的外延层(108),用于在外延层(108)的主平面中的声波传输,其中声波的波长的周期性(λ)是 通过外延层(108)透射的近似等于第一子区域(104a)的宽度(da)的总和和第二子区域(104b)的宽度(db)。

著录项

  • 公开/公告号EP3896850A4

    专利类型

  • 公开/公告日2021-10-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 IQE PLC;

    申请/专利号EP20210167114

  • 申请日2021-04-07

  • 分类号H03H3/08;H01L41/319;H03H3/02;H03H9/02;H03H9/145;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 21:46:55

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