公开/公告号US11150140B2
专利类型
公开/公告日2021-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615277753
发明设计人 MEI SUN;VAIBHAW VISHAL;
申请日2016-09-27
分类号G01K1/20;G01K1/02;G01K13;G01K7/02;G01K7/16;G01L9/02;G01T1/16;G01T7;
国家 US
入库时间 2024-06-14 22:14:37