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IMAGE ANALYSIS DEVICE, ANALYSIS DEVICE, SHAPE MEASUREMENT DEVICE, IMAGE ANALYSIS METHOD, MEASUREMENT CONDITION DETERMINATION METHOD, SHAPE MEASUREMENT METHOD, AND PROGRAM

机译:图像分析装置,分析装置,形状测量装置,图像分析方法,测量条件确定方法,形状测量方法和程序

摘要

A measurement condition that enables accurate shape measurement can be set easily. An image analysis device includes an image analyzer 83 configured to detect, in a case of capturing an image of light projected onto an object to be measured, an improper image for shape measurement of the object to be measured, on the basis of design information on the object to be measured, and a measurement condition, and an output unit 88 configured to output detection result information that is information based on a detection result of the image analyzer 83.
机译:可以容易地设定能够实现精确形状测量的测量条件。 图像分析装置包括被配置为检测的图像分析器83,在捕获投影到要测量的对象上的光的图像的情况下,基于设计信息,用于测量的物体的形状测量的不正确图像 要测量的对象,以及测量条件,以及输出单元88,其被配置为基于图像分析器83的检测结果输出作为信息的检测结果信息。

著录项

  • 公开/公告号EP3760970A4

    专利类型

  • 公开/公告日2021-10-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NIKON CORPORATION;

    申请/专利号EP20180907727

  • 发明设计人 NAKANO SUMITO;KONDO MAKOTO;

    申请日2018-02-27

  • 分类号G01B11/24;G01B11/25;G01M13/021;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 21:29:09

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