公开/公告号KR102301071B1
专利类型
公开/公告日2021-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 누맷 테크놀로지스 인코포레이티드;
申请/专利号KR20177017330
发明设计人 시우 폴 와이-만;웨스턴 미쉘 휴그;
申请日2015-12-02
分类号B01J20/22;B01J20/26;C07F1/08;C07F3/06;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/425;
国家 KR
入库时间 2022-08-24 21:02:20