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Sample holder and X-ray photoelectron spectrometer

机译:样品架和X射线光电子光谱仪

摘要

The sample holder (30) comprises a sample mount (34), a secondary electron generating plate (31), and a transfer mechanism (33).The secondary electron generating plate (31) is designed to emit secondary electrons (38) by irradiating the X-ray (14).The moving mechanism (33) moves the secondary electron generating plate (31) to the sample mount (34).As the secondary electron generating plate (31) moves, the secondary electron generating plate (31) is so configured that the distance between the first major surface (34 A) of the sample mount (34) and the portion (32) of the secondary electron generating plate (31) located on the path of the X-ray (14) irradiated onto the specimen (20) changes A moving mechanism (33) is constituted.
机译:样品保持器(30)包括样品支架(34),二次电子发生板(31)和传送机构(33)。二次电子发生板(31)被设计为通过照射而发出二次电子(38) X射线(14)。移动机构(33)将二次电子发生板(31)移动到样品支架(34)。即二次电子发生板(31)移动,二次电子发生板(31) 如此配置成器安装座(34)的第一主表面(34a)与位于X射线(14)的路径上的辅助电子发生板(31)的第一主表面(34)之间的距离 在样品(20)上改变移动机构(33)。

著录项

  • 公开/公告号JPWO2020250307A1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-09-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 三菱電機株式会社;

    申请/专利号JP20190560420

  • 发明设计人 今澤 貴史;河瀬 和雅;田中 政幸;

    申请日2019-06-11

  • 分类号G01N23/20025;G01N23/2273;G01N23/2204;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-24 20:59:40

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