公开/公告号US11043239B2
专利类型
公开/公告日2021-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA CORPORATION;
申请/专利号US202016821192
发明设计人 JUN WANG;YAOLEI ZHENG;CHUNXIA LI;CHANGFEI YAN;LANSHENG DONG;YANG ZHOU;HAI-YANG YOU;HAIJING PENG;JIANOU SHI;RUI NI;SHANKAR KRISHNAN;DAVID Y. WANG;WALTER H. JOHNSON;
申请日2020-03-17
分类号G11B11/105;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:28:30