公开/公告号US2020302965A1
专利类型
公开/公告日2020-09-24
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA CORPORATION;
申请/专利号US202016821192
发明设计人 JUN WANG;YAOLEI ZHENG;CHUNXIA LI;CHANGFEI YAN;LANSHENG DONG;YANG ZHOU;HAI-YANG YOU;HAIJING PENG;JIANOU SHI;RUI NI;SHANKAR KRISHNAN;DAVID Y. WANG;WALTER H. JOHNSON;BARRY BLASENHEIM;
申请日2020-03-17
分类号G11B11/105;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:24:23