公开/公告号US2021183922A1
专利类型
公开/公告日2021-06-17
原文格式PDF
申请/专利号US202017019502
发明设计人 KENG-YU CHOU;CHUN-HAO CHUANG;KAZUAKI HASHIMOTO;WEI-CHIEH CHIANG;CHENG YU HUANG;WEN-HAU WU;CHIH-KUNG CHANG;
申请日2020-09-14
分类号H01L27/146;G01J1/44;G01J1/02;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:23:19