公开/公告号US2021172061A1
专利类型
公开/公告日2021-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 MITSUBISHI CHEMICAL CORPORATION;NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION TOKYO UNIVERSITY OF AGRICULTURE AND TECHNOLOGY;
申请/专利号US202117178423
申请日2021-02-18
分类号C23C16/34;C30B29/40;C30B29/38;C23C16/448;H01L21/02;H01L21/205;C30B23/02;C30B25/20;C23C16/30;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:08:01