公开/公告号US2021174491A1
专利类型
公开/公告日2021-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号US202117145033
发明设计人 MAXIM PISARENCO;SCOTT ANDERSON MIDDLEBROOKS;MARKUS GERARDUS MARTINUS MARIA VAN KRAAIJ;ADRIANUS CORNELIS MATHEUS KOOPMAN;
申请日2021-01-08
分类号G06T7;G06T7/70;G06T5/50;H01J37/28;H01J37/22;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:07:27