公开/公告号US2021175132A1
专利类型
公开/公告日2021-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US202117179379
发明设计人 BARAK BRINGOLTZ;EVGENI GUREVICH;IDO ADAM;YOEL FELER;DROR ALUMOT;YUVAL LAMHOT;NOGA SELLA;YARON DE LEEUW;TAL YAZIV;ELTSAFON ASHWAL-ISLAND;LILACH SALTOUN;TOM LEVIANT;
申请日2021-02-18
分类号H01L21/66;G06F16/28;G03F9;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-24 19:07:18