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Guide layout creating apparatus, guide layout creating method and recording medium

机译:指南布局创建设备,指南布局创建方法和记录介质

摘要

In one embodiment, a guide layout creating apparatus includes a selection module that selects a first point as a point on which a guide to array a plurality of particles in a first array is arranged. The apparatus further includes a calculation module that calculates first free energy when the plurality of particles are arrayed in the first array by the guide arranged on the first point, and second free energy when the plurality of particles are arrayed in a second array by the guide arranged on the first point, a type of the second array being different from a type of the first array. The apparatus further includes a determination module that determines whether the first point is employed as the point on which the guide is arranged on the basis of the first free energy and the second free energy.
机译:在一个实施例中,引导布局创建设备包括选择模块,该选择模块选择第一点作为第一阵列中的阵列导向器的指南的点。该装置还包括计算模块,该计算模块在通过布置在第一点上的引导件上排列在第一阵列中的第一阵列中,当多个颗粒被引导件排列在第二阵列中时,当多个颗粒排列时,计算第一自由能量排列在第一点,一个类型的第二阵列与第一阵列的类型不同。该装置还包括确定模块,该确定模块确定第一点是否被采用作为基于第一自由能和第二自由能布置的指导的点。

著录项

  • 公开/公告号US11030353B2

    专利类型

  • 公开/公告日2021-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TOSHIBA MEMORY CORPORATION;

    申请/专利号US201815891408

  • 发明设计人 HIRONOBU SATO;

    申请日2018-02-08

  • 分类号H01L23/498;G03F7;G06F30;G06F119/18;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-24 19:05:25

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