公开/公告号US11004692B2
专利类型
公开/公告日2021-05-11
原文格式PDF
申请/专利权人 EXOGENESIS CORPORATION;
申请/专利号US201615758436
申请日2016-07-22
分类号H01L21/311;H01L21/3213;C03C15/02;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3105;C03C15;H01L21/265;H01L21/308;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:37:46