公开/公告号US10991809B2
专利类型
公开/公告日2021-04-27
原文格式PDF
申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;
申请/专利号US201615777837
申请日2016-11-22
分类号C09K13/08;H01L21/02;H01L21/04;H01L21/225;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/66;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:23:13