公开/公告号US10982322B2
专利类型
公开/公告日2021-04-20
原文格式PDF
申请/专利权人 SKYWORKS SOLUTIONS INC.;
申请/专利号US201916452998
发明设计人 KEZIA CHENG;
申请日2019-06-26
分类号C23C14/50;H01L21/3065;H01L21/67;H01L21/30;H01L21/677;H01L21/687;H01L21/02;H01L21/311;C23C16/06;C23C16/50;C23C16/505;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:17:27