公开/公告号US10969679B2
专利类型
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 H.E.F.;UNIVERSITE JEAN MONNET SAINT ETIENNE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS);
申请/专利号US201716311293
申请日2017-06-21
分类号G03F1/68;G03F7/20;G03F1/76;
国家 US
入库时间 2022-08-24 18:04:54