公开/公告号US10955384B2
专利类型
公开/公告日2021-03-23
原文格式PDF
申请/专利号US201615757648
申请日2016-08-29
分类号G01N29/22;H01L41/08;H01L41/23;G01N29/24;H01L41/053;B32B5/26;B32B3/26;B32B3/08;B32B7/12;B32B5/02;B32B5/12;G01N29/04;H01L41/09;G01N1;
国家 US
入库时间 2022-08-24 17:50:49