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METHODS FOR FORMING SINGLE CRYSTAL SILICON INGOTS WITH IMPROVED RESISTIVITY CONTROL

机译:具有改进电阻率控制的单晶硅锭的形成方法

摘要

Methods for forming single crystal silicon ingots with improved resistivity control and, in particular, methods that involve gallium or indium doping are disclosed. In some embodiments, the ingots are characterized by a relatively high resistivity.
机译:公开了具有改进的电阻率控制的单晶硅锭的方法,特别是涉及镓或铟掺杂的方法。在一些实施方案中,铸锭的特征在于相对高的电阻率。

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