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机译:各种反射镜,用于投影和绘制显微制剂。
公开/公告号DE1628145U
专利类型
公开/公告日1951-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 J D MOELLER OPTISCHE WERKE G M DE;
申请/专利号DE1951M004848U
发明设计人
申请日1951-07-11
分类号
国家 DE
入库时间 2022-08-24 01:46:01
机译: 用于例如晶片的晶片布置的微镜布置。激光投影具有用于微镜光学耦合的静态偏转镜,其中偏转镜相对于基板晶片表面给定的平面弯曲
机译: 具有倾斜偏转镜的折反射投影物镜,投影曝光设备,投影曝光方法和反射镜
机译: 带有倾斜偏转镜的射影投影目标,投影曝光设备,投影曝光方法和反射镜