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机译:通过在真空下蒸发制备用于调节厚度和薄膜形成速度的装置。
公开/公告号FR1389513A
专利类型
公开/公告日1965-02-19
原文格式PDF
申请/专利权人 CENTRE NAT RECH SCIENT;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE;
申请/专利号FR19630957650
发明设计人 BRUYERE JEAN-CLAUDE;BRUYERE JEAN-CLAUDE;BILLAT ROGER;BILLAT ROGER;
申请日1963-12-18
分类号C23C14/54;G01B7/06;G05D29;
国家 FR
入库时间 2022-08-23 15:41:54
机译: 薄膜形成装置和罐的薄膜形成方式无效及升华为其蒸发源的特征蒸发材料
机译: 在该装置中为了蒸发薄膜而形成原子的蒸发装置和其中的薄膜
机译: 通过蒸发形成薄膜和蒸发的薄膜形成装置