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机译：在真空中热蒸发各种材料以生产薄膜的设备
公开/公告号US3271561A
专利类型
公开/公告日1966-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 MARTIN-MARIETTA CORPORATION;
申请/专利号US19640348594
发明设计人 ROSS GILBERT H.;FIEDLER WALLACE A.;ESTOCK ROBERT A.;
申请日1964-03-02
分类号C23C14/24;
国家 US
入库时间 2022-08-23 14:32:02
机译： 真空沉积设备，由于蒸发材料混合并沉积时，蒸发材料的混合比在膜的深度恒定，因此能够形成均质的薄膜
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