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机译:用于在真空室中点燃火花离子的离子源的设备。
公开/公告号DE1979369U
专利类型
公开/公告日1968-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 VARIAN MAT G M B H DE;
申请/专利号DE1962A018383U
发明设计人
申请日1962-05-23
分类号
国家 DE
入库时间 2022-08-23 13:14:57
机译: 用于处理设备的处理设备,尤其是其中包括有机材料的设备,以及用于将蒸发源从处理真空腔转移到维护真空腔或将维护真空腔转移到过程的方法
机译: 用于处理设备,特别是其中包含有机材料的设备的处理设备,以及用于将蒸发源从处理真空室转移到维护真空室或从维护真空室转移到处理真空室的方法