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机译:光学路径中涉及现象的分析的过程和装置
公开/公告号CA801382A
专利类型
公开/公告日1968-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 OFFICE NATIONAL DETUDES ET DE RECHERCHES AEROSPATIALES (O.N.E.R.A.);
申请/专利号CAD801382
发明设计人 MICHEL E. C. PHILBERT;
申请日0000-00-00
分类号
国家 CA
入库时间 2022-08-23 12:38:44
机译: 光程长度现象变化分析装置
机译: 微光刻曝光包括通过控制第一和/或第二光路的变化来补偿光路差。图像平面差异基本上与入射角无关
机译: 运动路径绘制方法,运动路径绘制程序,运动路径绘制设备,运动分析处理方法,运动分析处理程序和运动分析设备