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机译:光程长度现象变化分析装置
公开/公告号US3431352A
专利类型
公开/公告日1969-03-04
原文格式PDF
申请/专利权人 OFFICE NATIONAL DETUDES ET DE RECHERCHES AEROSPATIALES PAR ABREVIATION O.N.E.R.A.;
申请/专利号USD3431352
发明设计人 MICHEL ERIC CHARLES PHILBERT;
申请日1964-06-02
分类号G02F1/32;G02F1/34;
国家 US
入库时间 2022-08-23 11:45:03
机译: 光学路径中涉及现象的分析的过程和装置
机译: 干涉仪具有可改变光程长度的光程长度改变装置,将光束偏转到倾斜偏转面上的固定反射器上,绕轴旋转以改变光程长度
机译: 用于半导体组件质量控制测试中的三维分析的光学距离传感器-使用光程长度的变化和强度最大值的检测。由光电探测器提供以提供高度轮廓值