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METHOD OF FABRICATING UNIFORM RARE EARTH IRON GARNET THIN FILMS BY SPUTTERING

机译:溅射制备均匀稀土铁石榴石薄膜的方法

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号US3437577A

    专利类型

  • 公开/公告日1969-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 INTERN. BUSINESS MACHINES CORP.;

    申请/专利号USD3437577

  • 发明设计人 ERICH SAWATZKY;ERIC KAY;

    申请日1967-06-26

  • 分类号C23C15/00;B44D1/44;C23D13/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-23 11:43:59

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