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机译:干涉仪,用于测量可逆计数器的干涉仪,小位移
公开/公告号CH486003A
专利类型
公开/公告日1970-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 KEUFFEL & ESSER COMPANY;
申请/专利号CH19670018237
发明设计人 E. ERICKSONKENT;
申请日1967-12-28
分类号G01B9/02;
国家 CH
入库时间 2022-08-23 11:21:21
机译: 用于精确测量小位移的Fabry-Perot光纤干涉仪,包括发射和检测光纤以及可变形的反射元件,该元件随待测量的位移而变化
机译: 用于二频激光干涉仪的位移测量的非线性误差校正方法和相角测量方法以及使用该方法的位移测量系统
机译: 通过使用参考激光束和测量激光束形成的相干图案来测量目标物体位移的激光干涉仪,以及使用该干涉仪的位移测量系统