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A method for sealing a helicoidal guide and, on the surface protection of components - enclosures of the semiconductor technology

机译:一种密封螺旋形导向器的方法,以及在组件的表面保护上-半导体技术的外壳

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号DE1539044A1

    专利类型

  • 公开/公告日1969-12-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 VEB HALBLEITERWERK FRANKFURT;

    申请/专利号DE19651539044

  • 发明设计人 OTTO-EUGEN HEBERLEINDIPL.-MET.;

    申请日1965-08-09

  • 分类号H01L21/50;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-23 11:17:44

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