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机译：电子扫描电子显微镜和电子束显微分析装置
公开/公告号CH520332A
专利类型
公开/公告日1972-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号CH19710003363
发明设计人 WEBERULRICHDR.;
申请日1971-03-08
分类号G01N23/22;
国家 CH
入库时间 2022-08-23 08:40:13
机译： 电子束rastermikroskopie和电子束显微分析的样品分析方法
机译： 铱-尖端，场-离子源，聚焦离子束的装置，电子源，电子显微镜，使用电子束进行分析的装置，离子-电子-更多隔室束-装置，采样探针显微镜和掩模，-维修
机译： 活化室和套件，用于处理设备中以降低电子亲和力，包含所述成套工具并用于降低电子亲和力的处理设备，光电阴极电子束源，含电子枪的电子枪，含电子阴极的电子电极显微镜，扫描电子显微镜，电子束全息照相术，电子束光刻设备，电子束衍射设备和电子束扫描设备
