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机译:硅锗锡TH和砷的烷氧基衍生物的制备方法
公开/公告号US3641077A
专利类型
公开/公告日1972-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 EUGENE G. ROCHOW;
申请/专利号USD3641077
发明设计人 EUGENE G. ROCHOW;
申请日1970-09-01
分类号C07F7/00;C07F7/02;C07F7/22;
国家 US
入库时间 2022-08-23 08:00:10
机译: 制备外延硅锗层的方法和包括外延砷原位掺杂的硅锗层的集成半导体器件
机译: 高锗浓度形成硅锗应力的方法,该方法能够通过实施热扩散过程而由第二硅锗层形成硅锗应力