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机译:砷化镓外延蒸汽生长阶段的砷化镓原位媒染剂
公开/公告号IT982897B
专利类型
公开/公告日1974-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 WE;
申请/专利号IT19730048869
发明设计人
申请日1973-03-16
分类号B01J;
国家 IT
入库时间 2022-08-23 06:03:18
机译: 表皮砷化镓气相生长过程中砷化镓的原位刻蚀
机译: 一种使用砷化镓或亚磷酸镓三陈源从气相中去除砷化镓或磷化镓的方法