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机译:X射线电视缺陷检查中确定深度缺陷的装置
公开/公告号SU466435A1
专利类型
公开/公告日1975-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ВСЕСОЮЗНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ И ПРОЕКТНЫЙ ИНСТИТУТ ТЕХНОЛОГИИ ХИСИЧЕСКОГО И НЕФТЯНОГО АППАРАТОСТРОЕНИЯ;
申请/专利号SU19721854738
发明设计人 ТИМОШЕНКО СТАНИСЛАВ ПЕТРОВИЧ;
申请日1972-12-07
分类号G01N23/18;
国家 SU
入库时间 2022-08-23 04:11:58
机译: 缺陷深度估计方法和缺陷深度估计装置
机译: 提取缺陷深度信息的装置和方法,以及使用缺陷深度信息改善半导体器件制造过程的方法
机译: 缺陷深度信息提取设备,其方法以及使用缺陷深度信息的半导体工艺改进方法