公开/公告号JPS5143959A
专利类型
公开/公告日1976-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 NIPPON JIDO SEIGYO KK;
申请/专利号JP19740117518
申请日1974-10-12
分类号H01L21/30;G01B7/28;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G03F1/00;G03F1/84;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/66;H05K13/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:10:57