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机译:玄三和越前星树
公开/公告号JPS516660A
专利类型
公开/公告日1976-01-20
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO LTD;
申请/专利号JP19740077671
发明设计人 NEMOTO MINORU;SHIMIZU YUKIO;OKUMURA KADODE;KOBAYASHI YOSHIAKI;ASABA SHUJI;
申请日1974-07-05
分类号H01J9/14;C23F1/00;G03F7/00;H01J29/07;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/306;
国家 JP
入库时间 2022-08-23 03:02:49
机译: 玄三和越前星树
机译: Zairyo * kotonikenchikuzairyo oyobi * matahatoryoto no kikaitekitaimamosei oyobi * mataha tainetsusei * kotoni taikasei oyobi * mataha ondohenkaanteisei oyobi * mataha bonetsusei oyobi * mataha boonsei oyobi * maaha
机译: Rinsanen Ganryo no Sui或Rinsanenmu Ganju no Senzai和Seijozai Osho Kotaibutsutai no Kikai Kisenjo和Seijoho和Dohoho Ojitsu在那里