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机译:用于确定包含投影透镜的光学照明系统中聚焦误差的光学传感器
公开/公告号CA1003672A
专利类型
公开/公告日1977-01-18
原文格式PDF
申请/专利权人 THOMSON-BRANDT;
申请/专利号CA19740195267
发明设计人 PELTIER JEAN P.;LACOTTE JEAN P.;LE CARVENNEC FRANCOIS;MALISSIN ROLAND;LE MERER JEAN P.;
申请日0000-00-00
分类号G11B7/09;G01J1/36;G02B27/40;
国家 CA
入库时间 2022-08-23 00:27:29
机译: 用于确定包含投影透镜的光学照明系统中聚焦误差的光学传感器
机译: 2透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置,3透镜光学系统扫描型像差校正后的离子束装置和2透镜光学系统投影型像差校正后的离子束照相系统,3透镜装置类型像差校正的离子光刻设备