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机译:一种用于制造半导体材料的方法,该方法用于扩散的现有可直接加热的空心体
公开/公告号DE2253411B2
专利类型
公开/公告日1977-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号DE19722253411
发明设计人
申请日1972-10-31
分类号B01J17/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-23 00:08:22
机译: 一种用于制造半导体材料的方法,该方法用于扩散的现有可直接加热的空心体
机译: 一种制造用于扩散目的的现有空心体的半导体材料的方法