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机译:空气管道作为洁净室技术中的紧凑型紧凑型
公开/公告号DD128416A1
专利类型
公开/公告日1977-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 BATZDORF JOHANN;MEHNERT KARL;
申请/专利号DD19760195706
发明设计人 MEHNERT KARL;BATZDORF JOHANN;
申请日1976-11-10
分类号F24F13/02;
国家 DD
入库时间 2022-08-22 22:54:15
机译: 管理技术配方信息以帮助定义流程的方法和相关设备,特别是用于洁净室实验室中的微和纳米技术设备的开发和生产
机译: 管理技术配方信息以帮助定义流程的方法和相关设备,特别是用于洁净室实验室中的微技术和纳米技术设备的开发和生产
机译: 布置以在附件中形成l u00fcftungstechnischer区域,尤其是在使用filtercken洁净室技术时