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机译:校准扫描干涉仪波长尺度的方法
公开/公告号SU634092A1
专利类型
公开/公告日1978-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 GOLOBORODKO VLADIMIR TSU;
申请/专利号SU19772506402
发明设计人 SHULMAN EFIM SSU;GOLOBORODKO VLADIMIR TSU;
申请日1977-07-11
分类号G01B9/02;
国家 SU
入库时间 2022-08-22 20:05:56
机译: 使用正弦波扫描干涉仪和正弦波扫描干涉仪的测量方法
机译: 用于分析光源的光谱的光谱的全范围校准装置以及在能够使用波长扫描滤光片的光谱仪上获得准确的波长信息和像素信息的校准设备中获取信息的方法
机译: 波长跟踪系统,校准波长跟踪系统,光刻设备,确定可移动物体绝对位置的方法的方法,以及干涉仪