还公开了薄膜集成电路在薄膜滤波器和振荡器中的应用。公开了一种形式的表面声波换能器,其表现出比现有技术的表面声波换能器低的等效电容。
公开/公告号US4166258A
专利类型
公开/公告日1979-08-28
原文格式PDF
申请/专利号US19740501552
发明设计人 SAMUEL C.-C. TSENG;
申请日1974-08-29
分类号H03H9/04;H03H9/20;H03H9/26;H01L41/10;
国家 US
入库时间 2022-08-22 19:16:12