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机译:的方法用于开发和实践的开发和脱敏-开发了光刻版。
公开/公告号NL162491B
专利类型
公开/公告日1979-12-17
原文格式PDF
申请/专利权人 W.H. HOWSON LIMITED LEEDS GROOT-BRITTANNIE.;
申请/专利号NL19680006998
发明设计人
申请日1968-05-17
分类号G03F7/02;
国家 NL
入库时间 2022-08-22 18:29:53
机译: 的方法用于开发和实践的开发和脱敏-开发了光刻版。
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机译: 光刻显影液,形成抗蚀剂图案的方法以及生产光刻显影液的方法和设备