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机译:一种测量任意形状的几何结构的间距或分度误差的方法和装置
公开/公告号DE2838082C2
专利类型
公开/公告日1980-07-03
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AG 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN;
申请/专利号DE19782838082
发明设计人 EIGENSTETTER HERBERT 8000 MUENCHEN;
申请日1978-08-31
分类号G01B11/14;
国家 DE
入库时间 2022-08-22 17:35:46
机译: 一种测量任意形状的几何结构的间距或分度误差的方法和装置
机译: 测量结构的几何特性的误差测量设备,具有相同结构的误差测量系统以及使用该误差测量设备的误差测量方法
机译: 测量矩形结构间距误差的装置