首页> 外国专利> METHOD FOR ADHERING A PASSIVATION LAYER ON GOLDEN ZONES OF A SEMICONDUCTOR

METHOD FOR ADHERING A PASSIVATION LAYER ON GOLDEN ZONES OF A SEMICONDUCTOR

机译:在半导体的金地带上附着钝化层的方法

摘要

The invention relates to a method for adhering a coating layer to regions of a semi-conductor. This method consists in using a semiconductor substrate 4 on which at least one GOLDEN AREA 5 IS FORMED, SELECTIVELY DEPOSITING A LAYER 7 OF METAL, REACTING WITH GOLD, ON THIS GOLDEN ZONE TO FORM AN INTERFACE 8 BETWEEN GOLD AND REACTIVE METAL, REAGGING GOLD AND REACTIVE METAL , TO ELIMINATE THE PART OF THE METAL HAVING NOT REACTED MATTER TO MATER NU THE INTERFACE 8 OF REACTION, AND TO DEPOSIT A LAYER OF PASSIVATION ON THIS INTERFACE WHICH, BY THE FACT OF THE REACTION, ENSURES EXCELLENT ADHERENCE OF THE LAYER OF PASSIVATION. / P P FIELD OF APPLICATION: MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUITS INCLUDING IN PARTICULAR POWER TRANSISTORS. / P
机译:用于将涂层粘附到半导体区域上的方法技术领域本发明涉及一种用于将涂层粘附到半导体区域上的方法。该方法包括使用在其上形成至少一个金区域5的半导体衬底4,在该金区域上选择性地沉积金属层7,与金反应,以在金和反应性金属之间形成界面8,对金和活性金属,以消除尚未反应的金属部分,以保持反应界面8的纯净,并在该界面上沉积一层钝化层,通过反应的事实,可以确保钝化层的出色附着力。

应用领域:集成电路的制造,包括特殊的功率晶体管。

著录项

  • 公开/公告号FR2477772A1

    专利类型

  • 公开/公告日1981-09-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TRW INC;TRW INC;

    申请/专利号FR19810004670

  • 申请日1981-03-09

  • 分类号H01L21/316;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-22 15:01:28

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号