METHOD OF CHEMICAL TREATMENT OF MONOCRYSTAL SILICON SUBSTRATE PRIOR TO DEPOSITION OF SILICON EPITHAXIAL LAYERSMNIEVOJJ OSNOVY PERED OBRAZOVANIE EHPITAKSIAL'NYKH SLOEV KREMNIJA

机译： 沉积硅上皮层之前化学处理单晶硅基质的方法MNIEVOJJ OSNOVY PERED OBRAZOVANIE EHPITAKSIAL'NYKH SLOEV KREMNIJA

机译： 化学气相生长法生产单晶硅的方法及其原料中的超微量元素kuroroshiran分割定量法所生产的单晶硅中的超微量元素无效

机译： 用于将一种或多种含硅化合物化学键合到基板上并且在基板表面上布置含硅化合物的布置的方法，基板，用于合成含硅高价化合物的方法;