具有五种自由度的磁性轴承结构的控制装置,特别是包括反应补偿机制38的反应补偿机制,该机制有效地削弱了由内部结构引起的控制对象37的运动和螺母的运动。目的。补偿机制的设计基于最佳调节器的理论。 P>
应用于分子泵。
公开/公告号FR2516273A1
专利类型
公开/公告日1983-05-13
原文格式PDF
申请/专利号FR19820018681
申请日1982-11-08
分类号G05D3/14;G05D3/12;F16C32/04;G01C19/16;
国家 FR
入库时间 2022-08-22 10:00:13